СПРАВОЧНИК СУПЕРСПЛАВОВ – Часть 517

Слитки монокристаллического крем­ния, легированные бором (Б) или алюминием (А), изготовляют дырочного (Д) тина электрической проводимости, и легированные фосфором (Ф), сурьмой (С) или мышьяком (M), а также фосфо­ром и золотом (ФЗ) — электронного типа. Технические требования на слит­ки могут быть уточнены или изменены по согласованию между изготовителем и потребителем.

Пример условного обозначения слит­ков: IA1 щ КДБ 7,512,5—76 ТУ 48-4- 295—82, где IAl —подгруппа марок; кц — индексы дополнительных требо­ваний; КДБ — монокристаллический слиток кремния, выращенный по методу Чохральского, дырочного типа элект­рической проводимости, легированный бором; 7,5 — номинал удельного элек­трического сопротивления, Ом-см; 2,5 — время жизни неравновесных но­сителей заряда, мкс; 76 — диаметр, мм.

В табл. 75 и 76 приведены некоторые электрофизические параметры слитков монокристаллического кремния.

В зависимости от группы и подгруп­пы марки техническими условиями допускается: отклонение средних зна­чений удельного электрического сопро.

74. Физико-химические свойства кремния н германия [21, 33, 391

SI

Ge

Свойства

Относительная атомная касса Постоянная решетки при 25 °С, нм р-10-3 при 25 0C, кг/м» Твердость по Moocy Микротвердость, ГПа Температура, 0C: плавления кипения

Температурный коэффициент линей­ного расширения а-10е, 0C-1 Теплопроводность прн 25 9C, Вт/(м-рС) Молярная теплоемкость, Дж/(моль-0C): при —193°С при 270C

В жидко’м состоянии Температура Дебая, 0Ci при —193 при 27

Молярная теплота плавления, кДж/моль

Коэффициент поверхностного натяже­ния, Н/м

Упругие постоянные, ГПа, прн 250Q

C11

C12 Си

Скорость распространения продольных звуковых волн, м/с Удельное электрическое сопротивле­ние при 200C1 Ом-м Концентрация собственных носителей заряда при 200C, m~s Ширина запрещенной зоны, эВ: при —213 4C прн 250C Подвижность при 27 9C, м2/(В-с): электронов дырок

Эффективная масса дырок: тяжелых легких

Диэлектрическая проницаемость ста­тическая (низкочастотная) Магнитная восприимчивость

28,0855 0,543072± 1 • 10"® 2,32902 7,0

10.4

»415±3

2600 – 2,33

109

5,20

19.5 31,0

266 416 49,9±0,8

0,72

167 65,2 79,6 9,15-IO3 [11Ц

2,3- !O3

3- IOle

1,21 1,12

(1350± 100) 10"* (480± 15) IO-4

0,5т0 0,16т0 12,5

—0,13-ю-4

72,60 0,565754±МО"» 5,32674 6,25 7,6

937,2 2700 5,75

58.3

– И,1 22,9

31.4

80 133 37,1±0,2

0,6

129 48,3 66,8 5,4-IO3 [110}

0,68

2,5- 1,0й

0,78 0,75

3800-10-* 1800-10"* *

0,379та 0,042т; 16

-0,12- Ш-* ¦

75. Основные электрофизические параметры слитков монокристаллического кремния, полученных методом Чохральского (ТУ 48-4-295—82)