СПРАВОЧНИК СУПЕРСПЛАВОВ – Часть 524

0,6

±10

5- IO7-

4,5. IO2I

ГДГЗ 3

3,0

±10

4-IO7

(2+5) IO2"

ГЭСЗ 0,16

0,16

. ±20

5-IO8

4-IO21

ГЭСЗ 0,20

0,20

±20

5-IO8

4-IO2I I

ГЭСЗ (2,0+3,0) ± 15%

2,0—3,0

+ 15

5- IO8

6-IO20 1

ГЭСЗ (2,0+3,0) ± 20 %

2,0—3,0

±20

5-IO8

6-IO20 I

ГЭСЗ 6,0 ± 25 %

6,0

±25

5-IO8

6-IO20 1

Арсенид галлия (ОСТ 4.032.015—80) применяется для производства элек­тронных приборов и эпитакснальных структур. Арсенид галлия выпускается как в виде поликристаллических слит­ков (марка АГН-1), так и в виде моно­кристаллических слитков (остальные марки). Выращивают монокристаллы либо горизонтальной направленной кристаллизацией, либо вытягиванием по методу Чохральского из-под флюса. В качестве легирующих примесей ис­пользуют теллур, олово, цинк и крем­ний. Монокристаллические слитки, ле – тированные цинком, имеют дырочный тнп электрической проводимости, ос­тальные — электронный. Слитки арсе – нида галлия различных марок разли­чаются концентрацией основных носи­телей заряда (ОНЗ), допустимым от­клонением концентрации ОНЗ (табл, 83) от номинального значения (10-" 80 %), номинальными значениями диа­метров слитков (20—50 мм), плотностью дислокаций (5-10’—8-IO8 м"2). Ориен­тация продольной оси монокрнсталли – ¦ческих слитков [111], [100], 11 Отклонение плоскости торцового среза

SsJooSgg8 ^S-fT

Toy

OJ1 tT. CO t—

OO P? »— СЧ

Ю (N Ot-O OO O O

TN CO11IN tOO to CO CO

Л to с

OO-^ ООО

T – O

O

СО Ю to c^ tN in <N <N c^ O

OO

-i – CO

CT! 1" Ii CT! Ю ooiog COCTlCOtN

IO

To tN CO

Ю IO tN tN — OO^

Ю IO со""*

Ч

OO ООО

"" o"

Ю – со

IO

О. с

TN Л

^SgS оо® OO ЙЗ

TN ЮО tN t—"co О IO – Ф

Ю IO

TO=; 9

¦ФОО

О" о" о*

СО OO Г – fc – O О – Ф

T – "S

РЗ.

Со" l^*

Г— Oi ч* 1Л IO O О СО

ООО

Со S OO о" о"

Оо о го

OO

CT? ю"8 •Ч"’ I – СО tN т to ~’ о

Ul

СО tN СО

SS

OO 00

Stfs" "

СТ!

СО —¦

^ СО OO О о

<

Га О

IO

ООО

ООО —

S««Я8g

TN tN ООО

To

TN СО

Ю t – I— CO-XO

CTi tN _ m <м –O со"

•Э •Э

Г 3

E я

R E

S О.

E С

И

E

О. «

Ч >,

M

CU

Ч

St?

Й>

IM S

5 <-

Cl о

SSh

Га я я